真空電容壓力計(jì)

1.描述

PT124B-212K真空電容壓力計(jì)使用高穩(wěn)定電容敏感元件，具備出色的抗過壓能力和優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，適用于在光伏、半導(dǎo)體 及工業(yè)市場(chǎng)中對(duì)過程控制至關(guān)重要的精密真空測(cè)量。先進(jìn)制造技術(shù)與工藝，保障了應(yīng)用場(chǎng)景中的可重復(fù)性，本壓力計(jì)工作電壓 為24V DC，具有標(biāo)準(zhǔn)的（0~10）V DC模擬輸出信號(hào)，全刻度測(cè)量，可用范圍為1Torr（133Pa）至10Torr（1.33kPa）。

2.應(yīng)用

真空爐  真空包裝  等離子體滅菌器 冷凍干燥 真空蒸餾 石化行業(yè) 半導(dǎo)體行業(yè)  PECVD/ALD工藝設(shè)備  等離子體刻蝕工藝設(shè)備。

3.主要特點(diǎn)

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)接頭  

高精度：標(biāo)準(zhǔn)±0.5%讀數(shù)，可選±0.25%讀數(shù)  

精密膜片保證優(yōu)異的性能  

工作溫度補(bǔ)償范圍寬  

電路噪聲低、響應(yīng)快

不易受環(huán)境條件變化影響  

出色的抗過壓設(shè)計(jì)。

4.產(chǎn)品外形

5.過載和爆破壓力額定值

5.2接線定義

6.標(biāo)定操作說明

6.1標(biāo)定準(zhǔn)備

6.1.1 將0.5T、5T、10T對(duì)應(yīng)調(diào)整窗保護(hù)扣取下；

6.1.2 準(zhǔn)備一字小螺絲刀一把。

6.2標(biāo)定操作

6.2.1將外部氣壓調(diào)整到0.5T,等待1min氣壓穩(wěn)定后，用一字小螺絲刀先順時(shí)針旋轉(zhuǎn)半圈0.5T電位器再回半圈0.5T電位器；

6.2.2將外部氣壓調(diào)整到5T,等待1min氣壓穩(wěn)定后，用一字小螺絲刀撥動(dòng)一下5T按鍵；

6.2.3將外部氣壓調(diào)整到10T,等待1min氣壓穩(wěn)定后，用一字小螺絲刀先順時(shí)針旋轉(zhuǎn)半圈10T電位器再回半圈10T電位器；

6.2.4完成上述三步動(dòng)作后標(biāo)定完成。

6.3標(biāo)定操作注意事項(xiàng)

6.3.1在標(biāo)定過程中必須等待1min外部氣壓全穩(wěn)定后才能旋轉(zhuǎn)0.5T及10T電位器或撥動(dòng)5T按鍵，10T標(biāo)定完成后，變送器自動(dòng)保 存記錄數(shù)據(jù)。

6.3.2如需重新標(biāo)定0.5T或5T壓力點(diǎn),10T壓力也需要重新標(biāo)定（10T電位器同時(shí)起著保存的作用）。

7.注意事項(xiàng)及安裝要求

7.1注意事項(xiàng) 

7.1.1所選電源應(yīng)與真空電容壓力計(jì)的輸入電源一致； 

7.1.2屏蔽電纜線的屏蔽層應(yīng)與電源的公共端電源連接； 

7.1.3本系列真空電容壓力計(jì)接線應(yīng)按接線示意圖連接，確認(rèn)無(wú)誤方可通電！ 

7.1.4禁止在通電時(shí)插拔插頭； 

7.1.5用完產(chǎn)品后，應(yīng)拔掉插頭電源。

7.2安裝要求 

7.2.1真空電容壓力計(jì)應(yīng)垂直向上安裝； 

7.2.2真空電容壓力計(jì)拆裝過程中應(yīng)注意小心輕放，切記碰撞，以免引起儀表誤差，否則需重新校準(zhǔn)方能使用； 

7.2.3真空電容壓力計(jì)不能被安裝在有振動(dòng)的位置上，如必須安裝在振動(dòng)位置上時(shí)，請(qǐng)用真空軟管連接，以起到避震作用。

8.維護(hù)與故障排除

8.1日常維護(hù)

如果儀器變臟，請(qǐng)用軟布擦拭，不要使用汽油，涂料稀釋劑等清潔儀器。

8.2一般故障排除

9.裝箱清單

真空壓力計(jì) 1臺(tái) DP9串口線 1根 使用說明書 1份 合格證 1份